Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
Папков В.С., Цыбульников М.Б.
Рассматриваются вопросы получения гетероэпитаксиальных структур кремния на сапфире и шпинели и формирования на их основе интегральных схем. Изложены методы выращивания кристаллов сапфира и алюмомагниевой шпинели, а также методы подготовки диэлектрических подложек к гетероэпитаксии. Рассмотрены вопросы получения монокристаллических слоев кремния газотранспортными методами, особенности кристаллического строения и электрофизических свойств кремния на диэлектрических подложках. Книгу завершает материал о приборных разработках. Книга предназначена для широкого круга специалистов, работающих в области производства полупроводниковых приборов и материалов для микроэлектроники.
Kategoriler:
Yıl:
1979
Yayımcı:
Энергия
Dil:
russian
Dosya:
PDF, 35.64 MB
IPFS:
,
russian, 1979
Litres
Bir kitap dükkanı eklemek ister misiniz? Bize support@z-lib.do adresinden ulaşın
Dosyaları dönüştürün
Diğer arama sonuçları
Diğer avantajları 
