Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе
Татаренко Н.И., Кравченко В.Ф.
В книге дан анализ современного состояния и тенденций развития вакуумной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на базе нанопористого анодного оксида алюминия. Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик. Представлена принципиально новая интегральная технология создания наноструктурных автоэлектронных микроприборов и систем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. Изложены физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов. Приведены их экспериментальные и расчетные характеристики. Предназначается для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физической электроники, микро- и наноэлектроники
Yıl:
2006
Yayımcı:
Издательство "Физматлит"
Dil:
russian
Sayfalar:
192
ISBN 10:
5922106953
ISBN 13:
9785922106955
Dosya:
PDF, 4.71 MB
IPFS:
,
russian, 2006